台媒：台积电 EUV 光刻机采购破 50 台，远超三星

作者： • 更新时间：2021-06-04 20:13:38 •阅读 5

台媒：台积电 EUV 光刻机采购破 50 台，远超三星 据台媒报道，台积电加速先进制程推进，近期扩大释单，累计 EUV 机台至 2021 年底将超过 50 台 ... 报道指出，相较之下，三星电子 2021 年还不到 25 台，同时 EUV POD（光罩传送盒）采购量远低于预期。